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中国科学院声学研究所专利:一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
中国科学院声学研究所 专利 U形槽悬臂梁结构 MEMS 压电矢量水听器
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2023/3/29
中国科学院声学研究所专利:具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
中国科学院声学研究所 专利 串联结构 MEMS 压电 矢量水听器
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2023/3/22
中国科学院声学研究所专利:一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法
中国科学院声学研究所 专利 MEMS 压电 矢量水听器
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2023/3/22