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射频磁控溅射SnO2/MWCNTs 薄膜材料的气敏性能研究
射频磁控溅射 SnO2/MWCNTs 气敏元件 NO2
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2014/5/7
采用射频磁控溅射方法制备掺杂多壁碳纳米管（MWCNTs）的SnO2薄膜材料，并在此基础之上制作了NO2气敏传感器，使用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射仪（XRD）研究了SnO2/MWCNTs薄膜材料的表面形貌、物质组份等材料特性，采用气敏元件测试系统来分析传感器的气敏效应，包括灵敏度、选择性、响应-恢复等特性，实验结果表明该气敏传感器对超低浓度（10ppb）NO2气体有很好的灵敏度，对干扰气体...