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Annealing effect on electrical properties of high-k MgZnO film on silicon
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2007/7/28
期刊信息
篇名
Annealing effect on electrical properties of high-k MgZnO film on silicon
语种
英文
撰写或编译
作者
Liang J,Wu HZ(吴惠桢),Chen NB,Xu TN
第一作者单位
刊物名称
Semiconductor Science and Technology
页面
20, L1-L5 2005 (校样...