首 页
学术站点
知识要闻
国际动态
人 物
研招资料
会议中心
学术指南
课 件
知 识 库
所有栏目
学术站点
知识要闻
国际动态
人物
研招资料
会议中心
学术指南
课件
知识库
所有学科
哲学
教育学
文学
心理学
化学
计算机科学技术
医学
图书馆、情报与档案管理
标题
作者
关键词
摘要
正文
单位
网址
任意词
工学
>>>
材料科学
>>>
无机非金属材料
>>>
人工晶体
>>>
搜索结果:
1-1
共查到
“
人工晶体 300mm
”
相关记录1条 . 查询时间(0.062 秒)
中国科学院上海微系统与信息技术研究所在
300mm
大硅片晶体生长的数值模拟研究中获进展(图)
300mm
大硅片
晶体生长
数值模拟
font style='font-size:12px;'>
2023/6/20
300mm
大硅片是集成电路制造不可或缺的基础材料,对集成电路产业的发展起着关键支撑作用。针对集成电路制造行业对低氧高阻、近零缺陷等硅片产品的迫切需求,亟需解决大直径、高质量硅单晶晶体生长技术中的氧杂质输运、晶体缺陷调控等基础科学问题,进而开发大直径单晶晶体生长技术,实现特定的晶体杂质、缺陷的人工调控,满足射频、存储等领域的应用需求。
存档文本
原文地址
文献传递
中国研究生教育排行榜
-
条
正在加载...
中国学术期刊排行榜
-
条
正在加载...
世界大学科研机构排行榜
-
条
正在加载...
中国大学排行榜
-
条
正在加载...
人 物
-
篇
正在加载...
课 件
-
篇
正在加载...
视听资料
-
篇
正在加载...
知识库
-
篇
正在加载...
研招资料
-
篇
正在加载...
知识要闻
-
篇
正在加载...
国际动态
-
篇
正在加载...
会议中心
-
篇
正在加载...
学术指南
-
篇
正在加载...
学术站点
-
篇
正在加载...