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江苏省先进光学制造技术重点实验室宽幅DPSSL紫外激光直写系统iGrapher810（图）
江苏省 先进光学制造技术重点实验室 宽幅DPSSL紫外激光直写系统 iGrapher810
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2011/4/20
iGrapher810具有在40"尺度上进行亚微米至纳米结构图形快速制造（Nano-structrure patterning）的性能。在光斑中通过多光束干涉技术调制了100nm以上周期与准周期结构（线条、点阵、蜂窝、随机线等），图形的制作时间取决于光斑像素的尺寸，与像素内部的微纳结构无关。