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中国科学院新疆理化技术研究所专利:一种基于MEMS芯片的气敏材料快速筛选装置及方法
中国科学院新疆理化技术研究所 专利 MEMS芯片 气敏材料 快速筛选
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2023/12/5
中国科学院上海微系统与信息技术研究所采用MEMS芯片气相原位TEM技术揭示氢气传感器的失效机制(图)
MEMS芯片 气相原位TEM技术 透射电镜
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2022/9/22