RF MEMS开关吸合电压的分析     RF  MEMS  开关       font style='font-size:12px;'> 2008/10/22

吸合电压是MEMS静电执行器的重要参数，针对RF MEMS开关，详细分析了开关在不同执行方式下的吸合电压. 对于执行电压是脉冲方式而言，开关梁受迫振动，不同于准静态方式，此时使开关发生吸合的执行电压为动态吸合电压，计算表明比准静态吸合电压小8%. 通过简化的弹性系数和精确的电容计算公式，详细分析了基于CPW的双端固支梁开关的准静态和动态吸合电压. 分析了环境阻尼对动态吸合电压的影响，阻尼使得开关的...

存档文本 存档附件 原文地址 文献传递