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清华大学化学系曲良体教授团队实现异质膜湿气发电（MEG）和千伏的集成电压输出（图）
异质膜湿气发电 集成电压输出 清洁能源 湿气发电
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2021/7/23
2021年5月，清华大学化学系曲良体教授和程虎虎博士团队开发了一种异质膜湿气发电材料和器件（Moisture-enabled electric generator, MEG），能够利用空气中水汽直接产生电能，实现了低湿度环境下的高电压产出，集成MEG成功输出上千伏电压，为新型清洁能源的开发和社会的可持续发展提供了新的能量转化利用思路。该成果近期发表于《自然 纳米技术》(Nature Nanotec...
超临界二氧化碳溶液体系集成处理新一代微电子器件研究进展
低介电材料清洗 光刻胶干燥 超临界二氧化碳
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2013/10/29
微电子加工过程中要用到许多化学品和大量的超纯水, 随着集成电路微型化和结构复杂程度的提高, 各种溶液介质由于自身存在较大的表面张力而不容易穿透进入到微纳结构的内部, 可能影响刻蚀、各种清洗和干燥等过程的正常进行. 因此, 在微电子加工过程中迫切需要引入新的技术和方法来应对这种挑战. 超临界流体, 尤其是超临界二氧化碳溶液体系, 由于其具有独特的物理化学性质, 而且临界条件相对较温和, 有希望作为有...