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Pd/Ag双层膜系统扩散过程的XRD结构深度分布分析
结构深度分布 X射线衍射 薄膜 Pd／Ag
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2010/4/6
研究了X射线衍射的结构深度分布分析新方法该方法以不同的入射角入射，测量各物相的衍射谱，进而解出各确定深度处薄层的X射线衍射谱，从而可无损和定量地得到各深度处的衍射线的角度位置、强度和线型等全部结构信息此方法可得到各确定深度处的结构信息，而不是由表面到某深度处的平均结构信息；并且适用于具有择优取向的样品和吸收系数随深度而变化的样品．用此方法研究了Pd／Ag双层膜的退火过程，发现在互扩散的过程中，平行...