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Inner surface coating of TiN by grid-enhanced plasma source ion implantation (GEPSII) technique
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2007/7/28
期刊信息
篇名
Inner surface coating of TiN by grid-enhanced plasma source ion implantation (GEPSII) technique
语种
英文
撰写或编译
撰写
作者
刘斌,张谷令,刘赤子,杨思泽等
第一作者单位
中国科学院物理研究所
刊物名称
J. Vac. Sci. Tech
页面
2001.19.2958
出版日期
...
Influence of ion species ratio on grid-enhanced plasma source ion implantation
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2007/7/28
期刊信息
篇名
Influence of ion species ratio on grid-enhanced plasma source ion implantation
语种
英文
撰写或编译
撰写
作者
王久丽,张谷令,刘赤子,杨思泽等
第一作者单位
中国科学院物理研究所
刊物名称
Chin. Phys
页面
2004.13(01).65
出版日期
2004年
月
日
文章标识(ISSN)
...
Influence of grid and target radius and ion-neutral collisions on grid-enhanced plasma source ion implantation
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2007/7/28
期刊信息
篇名
Influence of grid and target radius and ion-neutral collisions on grid-enhanced plasma source ion implantation
语种
英文
撰写或编译
撰写
作者
王久丽,张谷令,刘赤子,杨思泽等
第一作者单位
中国科学院物理研究所
刊物名称
J. Phys. D: Appl. Phys
...
Pulsed ion sheath dynamics in acylindrical bore for inner surface grid-enhanced plasma source ion implantation.
font style='font-size:12px;'>
2007/7/28
期刊信息
篇名
Pulsed ion sheath dynamics in acylindrical bore for inner surface grid-enhanced plasma source ion implantation.
语种
英文
撰写或编译
撰写
作者
王久丽,张谷令,刘赤子,杨思泽等
第一作者单位
中国科学院物理研究所
刊物名称
Chin. Phys. Lett
页面
20...