图谱分析退火对本征SnO2多晶薄膜性能的影响     SnO2  透明高阻膜  XPS  CdTe电池        font style='font-size:12px;'> 2009/4/28

提高CdTe太阳电池转换效率的有效途径之一是适当减薄CdS窗口层，减薄了的CdS层会严重影响电池性能，解决方法是在窗口层和透明导电膜之间加一层高阻本征SnO2薄膜。采用反应磁控溅射制备了具有高阻抗的本征SnO2薄膜, 并对其进行了后处理，利用XRD, XPS等方法研究了退火前后薄膜的结构，成分及表面化学状态的变化。结果表明：经N2/O 2=4∶1气氛550 ℃(0.5 h)退火后，样品由非晶态转变...

存档文本 存档附件 原文地址 文献传递