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江苏省先进光学制造技术重点实验室宽幅DPSSL紫外激光直写系统iGrapher810（图）
江苏省 先进光学制造技术重点实验室 宽幅DPSSL紫外激光直写系统 iGrapher810
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2011/4/20
iGrapher810具有在40"尺度上进行亚微米至纳米结构图形快速制造（Nano-structrure patterning）的性能。在光斑中通过多光束干涉技术调制了100nm以上周期与准周期结构（线条、点阵、蜂窝、随机线等），图形的制作时间取决于光斑像素的尺寸，与像素内部的微纳结构无关。
金刚石窗口冷却Yb3+∶YAG DPSSL设计
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2007/8/20
针对高功率二极管重复率抽运的V型非稳腔Yb3+∶YAG激光头，提出了利用金刚石窗口冷却和直接水冷相结合的复合冷却设计.在YAG片的抽运面进行直接水冷，同时在激光提取面利用金刚石窗口冷却介质.金刚石优异的导热性能不仅能够有效地冷却激光介质，还能消除横向的温度梯度，解决了高功率激光器冷却和高功率抽运的矛盾.模拟结果表明对掺杂10 at %厚度为1.6 mm的Yb3+∶YAG片在抽运功率密度为20 kW...