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Cr/Cu/Al/Cr薄膜电极的防氧化性能
Cr/Cu/Al/Cr薄膜 薄膜电极 表面形貌 防氧化性能
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2014/3/24
采用Al作为Cu导电层的主要防氧化保护层,在普通浮法玻璃上利用磁控溅射和湿法刻蚀技术制备Cr/Cu/Al/Cr复合薄膜及其电极,研究不同的热处理温度对复合薄膜及其电极的结构、表面形貌和导电性能的影响。由于有Al层作为保护层,在热处理过程中,Al先与穿过Cr保护层的氧进行反应,从而可以更有效地保护Cu膜层在较高的温度下不被氧化,所制备的薄膜在经过600 ℃的热处理之后仍然具有较好的导电性能。而对于C...