退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响     退火  ZrO2薄膜  激光损伤阈值  X射线衍射  弱吸收       font style='font-size:12px;'> 2008/4/29

利用电子束蒸发方法在Yb∶YAG晶体和熔融石英衬底上沉积单层ZrO2薄膜，分别在673 K和1 073 K的温度下经过12 h退火以后，通过X射线衍射（XRD）分析了薄膜晶相，计算了薄膜的晶粒尺寸;利用表面热透镜技术获得了薄膜的吸收；测量了退火后薄膜的激光损伤阈值。实验结果表明：两种衬底上的薄膜结构受到退火温度和衬底表面结构的影响，高温退火有利于单斜相的形成，含单斜相的ZrO2薄膜具有较高的激光损...

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物理法和化学法制备的单层ZrO2膜的激光损伤行为差异     ZrO2薄膜  激光损伤阈值  热吸收  孔隙率  损伤形貌  电子束热蒸发  溶胶-凝胶        font style='font-size:12px;'> 2008/4/29

分别采用电子束热蒸发技术和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了光学厚度相近的ZrO2单层薄膜,测试了两类薄膜的激光损伤阈值。分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明：两类薄膜的不同损伤形貌与薄膜的热吸收与微观结构有关， 物理法制备的ZrO2膜结构致密紧凑，膜层的杂质...

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氧分压对ZrO2薄膜激光损伤阈值的影响     ZrO2薄膜  氧分压  激光损伤阈值  电子束热蒸发       font style='font-size:12px;'> 2008/4/29

在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了ZrO2薄膜。分别通过X射线衍射、光学光谱、热透镜技术、抗激光辐照等测试，对所制备样品的微结构、折射率、吸收率及激光损伤阈值进行了测量。实验结果表明，薄膜中晶粒主要是四方相为主的多晶结构，并且随着氧分压的增加，结晶度、折射率以及弱吸收均逐渐降低。薄膜的激光损伤阈值开始随着氧分压增加从18.5J/cm2逐渐增加，氧分压为9×10-3Pa时达到最大，值为...

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