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沈阳科学仪器IC成膜PECVD设备研发和产业化项目通过验收
“IC成膜PECVD设备研发和产业化” 验收
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2008/6/19
辽宁省发展和改革委员会于2008年6月16日,在沈阳市主持召开了“IC成膜PECVD设备研发和产业化”项目验收会。该项目是由中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司承担的国家高技术产业化示范工程项目。验收委员会认真听取、审阅了项目验收报告及相关资料,并对建设现场进行了考察,经质询和讨论,同意该项目通过验收。
验收意见指出:沈阳科仪公司完成了国家发展改革委复函中所确定的建设内容。在6英寸PE...
PECVD项目通过验收
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2008/1/16
沈阳科仪中心公司承担的沈阳市科技计划项目——“IC装备等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD)产业化”项目,经过1年的努力,全面完成了合同规定的任务,提前半年申请验收。7月19日,沈阳市科技局在沈阳科仪中心公司组织召开了项目验收评审会。评审会专家组认真听取了验收汇报,并进行了现场考察和质询,一致同意通过项目验收。专家组对公司PECVD产品给予了较高的评价:该项目完成了6英寸PECVD设备的研发任...