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脉冲偏压电弧离子镀低温沉积TiN硬质薄膜的力学性能
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2007/7/28
期刊信息
篇名
脉冲偏压电弧离子镀低温沉积TiN硬质薄膜的力学性能
语种
中文
撰写或编译
作者
黄美东,孙超,林国强,董闯,闻立时
第一作者单位
刊物名称
金属学报
页面
2003年5月,第39卷第5期P516~520
出版日期
2003年
5月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
电孤离子镀(Ti,M〕N硬质薄膜与硬质梯度薄膜研究