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中国科学院大连化学物理研究所专利：一种用于质谱分析的射频放电真空紫外光复合电离源
中国科学院大连化学物理研究所 专利 质谱分析 射频放电 真空 紫外光 复合电离源
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2023/9/12
本发明所涉及的电离源是一种复合电离源，包含射频电压放电的真空紫外光单光子电离源，还包括利用光电效应中的光电子电离试剂气体得到的化学电离源。该电离源包括射频放电真空紫外光源、离子传输光学系统和离子源腔体；沿射频放电的真空紫外光源出射方向依次设置有离子推斥电极、离子聚焦电极和差分接口极板三个电极，这三个电极均为中心具有圆孔的圆形薄片电极，相互之使用绝缘垫间隔，同轴、平行设置；射频电压放电的真空紫外光束...